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電子背散射衍射(EBSD)
電子背散射衍射(EBSD)
電子背散射衍射EBSD主要特點是在保留掃描電子顯微鏡的常規(guī)特點的同時進行空間分辨率亞微米級的衍射。EBSD是可以做快速而準(zhǔn)確的晶體取向測量的強有力的分析工具。主要應(yīng)用是取向和取向差異的測量、微織構(gòu)分析、相鑒定、應(yīng)變和真實晶粒尺寸的測量。
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  項目簡介

  電子背散射衍射,簡稱EBSD,主要特點是在保留掃描電子顯微鏡的常規(guī)特點的同時進行空間分辨率亞微米級的衍射。EBSD是可以做快速而準(zhǔn)確的晶體取向測量的強有力的分析工具。主要應(yīng)用是取向和取向差異的測量、微織構(gòu)分析、相鑒定、應(yīng)變和真實晶粒尺寸的測量。

  常見項目

  電子背散射衍射(EBSD)、電子背散射衍射(EBSD)-遠程視頻

  結(jié)果展示

  可輸出形貌圖像、參數(shù)設(shè)置及解析率、相分布圖、BC圖、歐拉圖和IPF圖,也可增加Schmid因子圖、再結(jié)晶圖、GOS圖、KAM圖、ODF圖、晶粒統(tǒng)計等。

  例如:IPF圖


  下載


  常見問題

  1. EBSD對于樣品的要求是什么?

  樣品要求:EBSD樣品要求較高,要求樣品測試表面光滑平整且無殘余應(yīng)力,樣品應(yīng)具有合適的尺寸(長寬高<10*10*5mm)和良好的導(dǎo)電性。

  2. 不導(dǎo)電的樣品應(yīng)該如何處理?

  一般選擇噴碳處理,噴金會減弱背散射衍射信號。

  3. EBSD有哪些制樣方法?

  常見的制樣方法主要有機械拋光、電解拋光、離子減薄等。

  其中機械拋光的適用范圍廣、拋光效率高,但樣品表面容易產(chǎn)生應(yīng)力及機械損傷;電解拋光需要根據(jù)不同的材料選擇不同的拋光液,且拋光參數(shù)需要經(jīng)過大量實驗摸索,一般只適用于導(dǎo)電性好的材料。部分多相合金由于不同相電解速率不同,并不適合電解拋光;離子減薄一般使用惰性氣體高能離子束對樣品表面轟擊,從而得到較為平整的微觀表面,該方法適用大多數(shù)材料,且拋光效果較好。

  4. 不同的樣品應(yīng)該采用什么樣的制樣方法?

  陶瓷類樣品一般采用機械拋光或者氬離子拋光;

  金屬類樣品一般采用機械拋光加電解拋光或者機械拋光加氬離子拋光。

  5. 測試前需要確認(rèn)的信息有哪些?

  測試前需要確認(rèn)的重要信息:空間群、晶胞參數(shù)、原子占位、晶體結(jié)構(gòu)以及物相信息、樣品是否導(dǎo)電以及測試面。

  6. 噪聲黑點產(chǎn)生的原因有哪些?

  可能是由于在制備樣品時,電解拋光后樣品有一些肉眼看不到的污染,如氧化物之類的。

  7. EBSD能標(biāo)晶體取向嗎?

  可以,此外還可以表征晶粒結(jié)構(gòu),晶粒尺寸和晶界。

  8. Ar離子刻蝕測試樣品要求是什么?

  固體樣品,樣品直徑小于30mm,厚度小于10mm。

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